微(wei)小氣體流(liu)量計,MF4001氣體(ti)流量計

産(chan)品時間：2025-12-01

簡(jian)要描述：

微(wei)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是(shì)廣州迪川(chuān)儀器儀表(biǎo)⚽有限公司(sī)專門爲各(ge)類小流量(liàng)氣體的測(cè)量和過程(chéng)控🆚制而設(she)計的。這🌍一(yī)系列傳感(gǎn)器均采用(yong)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)💯統（MEMS）流量💯傳(chuan)感芯✊片來(lai)制作，适🌈用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yòng)于各類管(guǎn)徑，成本低(di)、易安裝、不(bú)需要溫度(du)壓力✉️補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuan)統流量🏃‍♀️傳(chuan)感器。

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詳細(xi)介紹

微小(xiao)氣體流量(liang)計,MF4001氣體流(liú)量計

産品簡介(jie)：
FS4001系列(liè)小流量氣(qi)體質量流(liú)量傳感器(qi)是廣州迪(dí)川儀器儀(yí)表有限公(gong)司專門爲(wei)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guò)☁️程控制而(er)🧡設計的。這(zhe)💋一系列傳(chuan)感器均采(cǎi)用本公司(sī)自主研發(fā)的微機電(dian)系統（ MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhì)作，适用于(yú)各類清潔(jié)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shi)⚽之可用于(yu)各類管徑(jìng)，成本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫🙇🏻度壓(yā)力補償，可(kě)替代容積(ji)式或壓差(chà)式的傳統(tong)流量傳感(gan)器。
産(chan)品特點：微(wei)小氣體流(liu)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳感器(qi)靈敏度高(gao) ,有極(jí)小的始動(dong)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(re)質量流量(liàng)計量 ,無需溫度(dù)壓力補償(chang) ,保證(zheng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liang)
- 在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duo)傳感器集(ji)成 ,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
- 傳感器(qì)的零點穩(wěn)定度高
- 全量程(chéng)高穩定性(xing)
- 全量(liang)程高精确(què)度和優良(liang)的重複性(xìng)
- 低功(gong)耗
- 低(dī)壓損
- 響應時間(jiān)快
主(zhu)要參數：

性能參(can)數	FS4001		單(dan)位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數(shu)
零點(dian)輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出(chu)飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性(xìng)， RS232/模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓(yā)損	350	300	pa
zui大(dà)工作壓力(li)	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械接口(kou)	可拆(chāi)式軟管接(jie)頭
校(xiào)準方式	空氣（或(huò)其他氣體(tǐ)）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g