微小氣體流(liú)量計FS4001
産品簡(jiǎn)介：
FS4001
系列小流(liu)量氣體質量流量(liang)傳感器是廣州迪(di)川儀器儀表有限(xiàn)公司專門爲各類(lèi)小流量氣體的測(ce)量和過🧑🏾🤝🧑🏼程控制而(ér)設計的。這一系列(liè)傳感器均采用本(ben)公司自主研發的(de)微機電系統💋（
MEMS
）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使👉之可用于(yu)各類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可☔替(tì)代容積式或壓差(chà)式的傳統流量傳(chuán)感器。
微小氣體流(liu)量計FS4001
産品特(tè)點：
-
傳感器靈(ling)敏度高
,
有極(jí)小的始動流量
-
傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量計(jì)量
,
無需溫度(du)壓力補償
,
保(bao)證了傳
-
感器(qi)的高精度計量
-
在單個芯片上(shàng)實現了多傳感器(qi)集成
,
使傳感(gǎn)器的量程比大大(da)提高
-
傳感器(qì)的零點穩定度高(gāo)
-
全量程高穩(wěn)定性
-
全量程(chéng)高精度和優良的(de)重複性
-
低功(gong)耗
-
低壓損
-
響應時間快
主(zhǔ)要參數：
FS4001系列微小(xiao)流量計
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性能(néng)參數
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FS4001
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單位
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通
徑
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1.0
|
1.8
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mm
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大流量
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30, 100, 200
|
500, 1000
|
SLPM
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量程(chéng)比
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2132132132131231312100:1
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精
度(dù)
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性
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0.25
|
%
讀數
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零點輸(shu)出飄移
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±30
|
mV
|
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輸出(chu)飄移
|
±0.12
|
%/oC
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響應時(shi)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
|
mses
|
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工作電源(yuán)
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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線性，
RS232/
模拟(ni)電壓
0.5~4.5Vdc
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大流量(liang)壓損
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350
|
300
|
pa
|
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大工作(zuo)壓力
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0.5
|
MPa
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工作溫(wēn)度
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-10 ~ +55
|
oC
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存儲溫度(dù)
|
-20 ~ +65
|
oC
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工作濕度
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<95%RH
（無結冰、無凝露(lù)）
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機械接口
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可拆式軟管接(jiē)頭
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校準方式(shi)
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空氣（或其他(ta)氣體），
20oC
，
101.325kPa
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重(zhòng)量
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15
|
g
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