氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計
産(chǎn)品簡介(jiè)：
FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體🏃的測(ce)量和過(guò)程控制(zhì)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封🐉裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于💛各類(lèi)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需🏃🏻♂️要溫(wēn)度壓力(li)補償，可(ke)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。
氣(qi)體檢測(ce)/測漏流(liú)量計産(chan)品特點(diǎn)：
- 傳感器(qì)靈敏度(du)高,有極(jí)小的始(shi)動流量(liàng)
- 傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liang)計量,無(wú)需溫度(du)壓力🏒補(bu)💜償,保證(zheng)了傳
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(ji)成,使傳(chuan)感器的(de)量程💰比(bi)🐪大大提(ti)高
- 傳感(gan)器的零(ling)點穩定(ding)度高
- 全(quán)量程高(gao)穩定性(xing)
- 全量程(chéng)高精确(que)度和優(you)良的重(zhong)複性
- 低(dī)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiǎng)應時間(jiān)快
主要(yào)參數：
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性(xing)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
mm |
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zui大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
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±30 |
mV |
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±0.12 |
%/oC |
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mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式(shi) |
線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
pa |
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zui大(dà)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cun)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露） |
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機械(xiè)接口 |
可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tou) |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
15 |
g |
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