産品(pǐn)簡介:
FS4001系列(lie) 氣體流量(liàng)監測傳感(gan)器 是(shi)專門爲各(ge)類小流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司自(zi)主研發的(de)微機電系(xi)統( MEMS
FS4001系列 氣體(ti)流量監測(ce)傳感器
産品特(te)點:
傳(chuán)感器靈敏(min)度高
,
有極小的(de)始動流量(liang)
-
無需(xū)溫度壓力(lì)補償
感器(qì)的高精度(du)計量
在單個芯(xīn)片上實現(xiàn)了多傳感(gan)器集成
,
傳(chuan)感器的零(ling)點穩定度(dù)高
全(quan)量程高穩(wěn)定性
-
-
響應(yīng)時間快
機械尺(chi)寸:
主要參(can)數:
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
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通(tong) 徑 |
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mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精(jing) 度 |
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% |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零點(diǎn)輸出飄移(yí) |
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mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shì) |
線性,RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流(liú)量壓損 |
350 |
300 |
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0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
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oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chāi)式軟管接(jie)頭 |
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重量 |
15 |
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