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FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liu)量傳感器

産(chan)品時間:2025-12-01

簡要(yào)描述:

FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liú)量傳感器适(shì)用于各類清(qīng)潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之(zhī)可用于各類(lèi)管徑,成本低(dī)、易安裝、不需(xū)要溫度壓力(lì)補償,可替代(dài)容積式或壓(ya)差式的傳統(tǒng)流量傳感器(qi)。

産品簡(jiǎn)介:

FS4001系列實驗(yan)室氣體流量(liang)傳感器 是專門爲各(gè)類小流量氣(qi)體的測量和(he)過程控制而(er)設計✨的🌍。這一(yī)系列傳感器(qì)均采用本公(gōng)司自主研發(fa)的微機電系(xì)統( MEMS )流量(liàng)傳感芯片來(lai)制作。

FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各(ge)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yú)各類管🤩徑,成(chéng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償,可(ke)替代容積式(shì)👌或壓差式的(de)傳統流量傳(chuan)感器。


産品特點(diǎn):
  - 傳感器(qi)靈敏度高 , 有極小的(de)始動流量
  - 傳感器芯(xīn)片采用熱質(zhi)量流量計量(liang) , 無需溫(wēn)度壓力補償(chang) , 保證了(le)傳
  - 感器(qì)的高精度計(jì)量
  - 在單(dān)個芯片上實(shí)現了多傳感(gan)器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大(dà)提高
  - 傳(chuán)感器的零點(dian)穩定度高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量程高精(jing)确度和優良(liang)的重複性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間(jian)快

機械(xie)尺寸:


主要參數(shù):

性能參數

FS4001

單(dan)位

通 徑

1.0

1.8

mm

大流(liu)量

30, 100, 200

SLPM

量程比

>100:1

 

精(jing) 度

±(1.5+0.2FS)

%

重複性

0.25

零點輸出(chu)飄移

mV

響應時間(jian)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

 

輸(shu)出方式

線性(xìng),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

大(da)流量壓損

pa

大(da)工作壓力

0.5

工(gong)作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲(chu)溫度

oC

工作濕(shi)度

<95%RH(無結冰、無(wú)凝露)

 

機械接(jie)口

可拆式軟(ruan)管接頭

 

校準(zhun)方式

 

重(zhòng)量

15

g

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